پدیده فیزیکی پراکندگی منسجم پرتوهای ایکس بر روی کریستال، پراش نامیده می شود، حتی اگر در یک زاویه کم رخ دهد. به عنوان مثال، اگر یک فاز دارای ارزش تبلیغی 31.5A و پراش متناظر آن 2.80 درجه (مس-Kα) باشد، اگر فاز دارای درجه بلورینگی بالایی باشد، قله 31.5A همچنان بسیار تیز است. فیلم های نازک نیز می توانند تولید کنندپراش اشعه ایکسبسته به ضخامت و ریزساختار فیلم، در یک محدوده زاویه کوچک متمرکز شده است. در این موارد، شدت پراکندگی پرتو ایکس با زاویه کوچک نمونه عمدتاً از پراش نمونه ناشی می شود که به آن پراش پرتو ایکس زاویه ای می گویند.

تابش اشعه ایکس به ذرات پودر بسیار ریز نیز باعث ایجاد پدیده پراکندگی منسجم می شود که در ناحیه با زاویه کم نیز رخ می دهد. با این حال، ویژگی های الگوی پراکندگی منسجم تولید شده توسط ذرات ریز کاملاً متفاوت از ویژگی های زاویه کوچک است.اشعه ایکسالگوی پراش تولید شده توسط کریستال بزرگ فاصله و یا لایه نازک بالا.

زاویه کوچکانکسار به طور کلی برای تعیین فاصله صفحات کریستالی بسیار بزرگ یا ضخامت لایه های نازک و همچنین ساختار ریز دوره ای لایه های نازک و توزیع سوراخ های دوره ای استفاده می شود.