پراکندگی پرتو ایکس با زاویه کوچک، پراکندگی پراکنده الکترون ها به اشعه ایکس در محدوده زاویه کوچک نزدیک پرتو اصلی است. پراکندگی با زاویه کوچک در همه مواد با چگالی الکترونی غیریکنواخت در مقیاس نانومتری رخ می دهد. 

1. کاربرد SAXS در توزیع اندازه ذرات SAXS به طور گسترده برای تعیین اندازه ذرات و توزیع اندازه ذرات نانو پودرها استفاده می شود. نتایج تجزیه و تحلیل اندازه ذرات نه دانه ها و نه دانه ها را منعکس می کند، بلکه اندازه ذرات اولیه را منعکس می کند. توزیع اندازه ذرات نانومتری زیرکونیا با استفاده ازاشعه ایکسروش پراکندگی زاویه کوچک هیستوگرام توزیع اندازه ذرات با آزمایش و پردازش داده ها به دست آمد.

2.مشخص سازی جهت گیریSAXSمی تواند به طور شهودی مواد را با جهت گیری مشخص کند. شکل. 4 و 5 نشان دهنده SAXS و نمودار شماتیک نانولوله های کربنی سنتز شده هستند. همانطور که از نمودار SAXS مشاهده می شود، دو نقطه روشن با تقارن چپ و راست، جهت گیری بالای نانولوله های کربنی را نشان می دهد و موقعیت اوج مربوط به ساختار اندازه نانولوله های کربنی است، در حالی که نانولوله های کربنی به طور تصادفی پراکنده نیستند. چنین الگوهایی

تا کنون، فناوری SAXS با موفقیت در برخی از جنبه های مشخصه ریزساختار مواد به کار گرفته شده است، و مطالعه بیشتر روش های نظری و کاربردهای SAXS از اهمیت نظری و عملی خاصی برخوردار است.