بروز چرا به این معنی است کهاشعه ایکسبا زاویه برخورد بسیار کوچک (&آن; 5 درجه) در معرض فیلم قرار می گیرد که عمق نفوذ در فیلم را بسیار کاهش می دهد. در عین حال، زاویه تابش کم بزرگتر، ناحیه تابش اشعه ایکس را در نمونه افزایش می دهد و حجم نمونه شرکت کننده در پراش را افزایش می دهد. نقش GID در تحلیل ساختار لایه های نازک در این مقاله معرفی می شود.
مثال: تست GID فیلم تک لایه
در این مثال، نمونه یک فیلم پلی کریستالی RuO2 14 نانومتری است که بر روی یک (100) بستر سیلیکونی تک کریستالی تهیه شده است. بنابراین، سیگنال از نمونه فیلم نازک در معمولیXRDالگوی توسط سیگنال تک کریستال سی پوشانده شده است. اگرچه پیک های پراش لایه نازک را می توان در تصویر بزرگ شده مشاهده کرد، سیگنال بسیار ضعیف است. طیف GID نمونه در یک زاویه برخورد 0.3 درجه در شکل 2 نشان داده شده است. هیچ سیگنالی از بستر تک کریستالی سی در شکل وجود ندارد و سیگنال فیلم واضح است.
عکس. 1
شکل 2