در تجزیه و تحلیل اشعه ایکس، ابزاری برای اندازه گیری زاویه بین پرتو اشعه ایکس فرودی و پرتو پرتو ایکس پراش استفاده می شود. پراش سنج به طور خودکار تغییرات را ترسیم می کندانکسار شدت با زاویه 2θ.
(1) مسیر نوری اشعه ایکس
اشعه ایکس از طریق فوکوس، ایستگاه شاتل (محدود کننده ارتفاع) و توقف شکاف واگرا (محدود کننده عرض) به جدول نمونه می رسد و خطوط پراکندگی تولید شده توسط نمونه از طریق توقف ضد پراکندگی، شاتل وارد آشکارساز می شود. توقف و شکاف دریافت کننده متوقف می شود.
(2)، دایره گونیا (پراشسنجدایره)
دایره گونیومتر: کانونلوله اشعه ایکسو استاپ دریافت در همان دایره قرار دارند که به آن دایره گونیا (دایره پراش سنج) می گویند.
اصل کار: در اندازه گیری پراش، نمونه حول محور مرکزی می چرخدگونیابا تغییر مداوم زاویه بین پرتو ورودی و سطح نمونه، شمارنده در امتداد دایره گونیا می چرخد و شدت پراش مربوط به هر زاویه پراش را دریافت می کند.
هنگامی که از تکنیک اسکن پیوسته استفاده می شود، سرعت اسکن تأثیر زیادی بر دقت اندازه گیری دارد. بنابراین، در صورت امکان، سعی کنید سرعت اسکن آهسته را انتخاب کنید. در غیر این صورت، سرعت اسکن خیلی سریع است، که باعث تشدید اثر هیسترزیس، کاهشاوج پراشارتفاع، و شکل خط را پهن کنید.