پدیگرنوری فیلملوازم جانبی اندازه گیری یک جزء تخصصی است که در پراش سنج های اشعه ایکس، عمدتا برای افزایش شدت سیگنال و دقت تشخیص نمونه های لایه نازک استفاده می شود.

1.توابع اصلی ازلوازم جانبی اندازه گیری فیلم نوری موازیاست

سرکوب تداخل پراکندگی: با افزایش طول توری، فیلتر کردن پرتوهای پراکنده بیشتر، کاهش تداخل سیگنال بستر بر روی نتایج پراش لایه نازک و در نتیجه بهبود قدرت سیگنال لایه نازک.

بهبود دقت تجزیه و تحلیل لایه نازک: مناسب برای تست ضخامت و سایر سناریوهای لایه های نازک چند لایه نانو، همراه با پیوست های پراش زاویه کوچک، تجزیه و تحلیل پراش زاویه کم در محدوده 0درجه~5درجهمی توان به دست آورد.

2. ویژگی های ساختاریازلوازم جانبی اندازه گیری فیلم نوری موازیاست

طراحی گریتینگ: با افزایش طول گریتینگ، بهینه سازی مسیر اشعه ایکس، افزایش توانایی فیلتر پرتوهای پراکنده، و اطمینان از خلوص سیگنال پراش لایه نازک.

3. دامنه کاربردصدیگرنوری فیلملوازم جانبی اندازه گیری

تحقیق در مورد مواد لایه نازک: تجزیه و تحلیل ساختار کریستالی فیلم های نانو چند لایه و فیلم های فوق نازک.

تست نیمه هادی و پوشش: برای ارزیابی یکنواختی، کیفیت کریستالی و سایر ویژگی های لایه های نازک استفاده می شود.

4. تجهیزات سازگار برایصدیگرنوری فیلملوازم جانبی اندازه گیری

این پیوست را می توان با مدل های مختلف پراش اشعه ایکس تطبیق داد، از جمله:

پراش اشعه ایکس TD-3500

پراش سنج تک کریستالی اشعه ایکس TD-5000

پراش اشعه ایکس با وضوح بالا TD-3700

پراش اشعه ایکس رومیزی TDM-20

به طور کلی،صدیگرنوری فیلملوازم جانبی اندازه گیری به طور قابل توجهی کیفیت سیگنال پراش نمونه های لایه نازک را از طریق بهینه سازی ساختاری و سرکوب پراکندگی بهبود می بخشد و به طور گسترده در علم مواد، تولید نیمه هادی ها و سایر زمینه ها استفاده می شود، به ویژه مناسب برای نیازهای آنالیز با دقت بالا لایه های نازک در مقیاس نانو.