پراش اشعه ایکس این تکنیک اغلب برای تشخیص کیفیت کریستالی ویفرها و ویفرهای اپیتاکسیال استفاده می شود. با این روش اندازه گیری می توان اطلاعاتی مانند ثابت های فاز و شبکه، بلورینگی، چگالی نابجایی، تنش پسماند و ترکیب و ضخامت را به دست آورد. شکل 1 نمودار شماتیک ابزارهای XRD معمولی را نشان می دهد.

با توجه به روش های مختلف اسکن، شکل 2 درجه آزادی چرخشی منبع اشعه ایکس، آشکارساز و نمونه را نشان می دهد.XRD تشخیص دارای روش های اندازه گیری زیر است:

(1) 2/مناسکن، کجامنمعمولا نصف 2 استمن. همچنین یک روش اسکن متداول برای اندازه‌گیری XRD نمونه‌های پودری است که به عنوان اسکن متقارن یا جفت شده نیز شناخته می‌شود. برای نمونه های فیلم بسیار نازک، پرتو اشعه ایکس را می توان در یک زاویه اسکن کوچک ثابت کرد و آشکارساز در جهت 2 حرکت می کند.منبرای جمع آوری سیگنال ها به چنین روش کوچکی برای تشخیص زاویه، تشخیص XRD بروز چرا نیز گفته می شود. ساختار فاز، کرنش تنش و اندازه دانه نمونه را می توان با اشعه ایکس به دست آوردانکسارقله های اسکن شده توسط 2θ/ω.

(2) اندازه گیری گراف قطبی. نمودار قطبی دایره ای است و معمولاً در مختصات قطبی با مختصات شعاعی ساخته می شود من و مختصات زاویه ایمن. به ویژه برای نمونه های بافت سطحی مناسب است. در برخی موارد، یک مجموعه کامل یا مجموعه ای از تصاویر قطبی ضروری نیست و می توان با اسکن آزیموت اندازه گیری کرد.مناسکن کنید. در این زمان، اطلاعات جهت گیری خارج از صفحه باید از قبل توسط 2 تعیین شودمن/مناسکن، و اطلاعات داخلی چهره کریستالی را می توان با اندازه گیری تصویر قطب یامناسکن، به طوری که بیشتر در مورد تقارن کریستال قضاوت شود.