اجزای ضروری یک پراش اشعه ایکس شامل یک مولد اشعه ایکس و یک آشکارساز اشعه ایکس است. هنگامی که اشعه ایکس فرودی به سطح نمونه هدایت می شود، آشکارساز پرتو ایکس مطابق با قانون پراش قرار می گیرد تا به طور همزمان شدت و زاویه پراش θ را ثبت کند. هواپیمای کریستالی که در آنپراش اشعه ایکسهمیشه به موازات سطح نمونه رخ می دهد.

توجه به این نکته ضروری است که منبع پرتو ایکس تولید شده توسط ژنراتور X، تعداد زیادی پرتو ایکس با طول موج های متفاوت ساطع می کند. بنابراین، به منظور اطمینان از دقت اندازه گیری، مدرنپراش اشعه ایکساغلب از تک رنگ یا فیلترها بین نمونه و آشکارساز اشعه ایکس برای به دست آوردن الگوهای پراش با کیفیت بالا استفاده می کنند.

انتخاب طول موج پرتو ایکس تا حد زیادی تحت تأثیر مواد هدف مولد اشعه ایکس است، با اهداف متداول مورد استفاده از جمله مس، شرکت، Fe، Cr، مو و W. هدف مس به طور گسترده برای اکثر نمونه ها مناسب است به جز نمونه هایی حاوی مس و آهن به دلیل پایداری و سازگاری بالا. برای آزمایش نمونه های Fe، هدف شرکت با تک رنگ و هدف Fe با فیلتر توصیه می شود. هدف Cr همچنین سازگاری عالی را برای آزمایش بیشتر نمونه ها ارائه می دهد. هدف مو به ویژه برای تجزیه و تحلیل کمی آستنیت به دلیل طول موج خاص آن مناسب است. در نهایت، هدف W پیوسته را فراهم می کنداشعه ایکسشدت و اغلب برای عکاسی لاو از تک کریستال ها استفاده می شود.