پراکندگی پرتو ایکس با زاویه کوچک، پراکندگی پراکنده الکترون ها به اشعه ایکس در محدوده زاویه کوچک نزدیک پرتو اصلی است. پراکندگی با زاویه کوچک در همه مواد با چگالی الکترونی غیریکنواخت در مقیاس نانومتری رخ می دهد.

پراش پرتو ایکس با زاویه کوچک (SAXD) عمدتاً برای تعیین فاصله صفحات کریستالی بسیار بزرگ یا ساختار لایه‌های نازک استفاده می‌شود.

پراکندگی پرتو ایکس با زاویه کوچک (SAXS) یک فناوری است که سیگنال‌های پراکنده تولید شده توسط پرتوهای ایکس را که از یک نمونه عبور می‌کنند جمع‌آوری می‌کند تا اطلاعات ساختاری یک نمونه را در محدوده 1 تا 100 نانومتر مطالعه کند.

پراش سنج اشعه ایکس دستگاهی است که از اصل برهمکنش اشعه ایکس و مواد برای به دست آوردن اطلاعاتی مانند ساختار بلوری و ثابت شبکه مواد با اندازه گیری زاویه پراش و شدت اشعه ایکس در مواد استفاده می کند.